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MEMS微镜单元及MEMS微镜阵列

专利名称:	MEMS微镜单元及MEMS微镜阵列
专利名称英文:
专利类别:
申请号:	2021105716427
专利号:
申请日期:	2021/5/25
第一发明人:	武震宇
第一发明人英文:
其他发明人:	汪洋；张浩；王栎皓；姜新泉；
其他发明人英文:
国外申请日期:
国外申请方式:
国外申请方式英文:
专利授权日期:
缴费情况:
缴费情况英文:
实施情况:
实施情况英文:
其他备注:
其他备注英文:
专利证书号:
专利摘要:
专利摘要英文:
国外授权日期:

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