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一种基于碳化硅色心的声表面波器件及其制备和应用

专利名称:	一种基于碳化硅色心的声表面波器件及其制备和应用
专利名称英文:
专利类别:
申请号:	2023108389375
专利号:
申请日期:	2023/7/10
第一发明人:	张加祥
第一发明人英文:
其他发明人:	秦源浩；欧欣；伊艾伦；朱一帆
其他发明人英文:
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缴费情况:
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实施情况:
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