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一种基于MZ结构的硅铌酸锂混合集成电光调制器及其制备方法

专利名称:	一种基于MZ结构的硅铌酸锂混合集成电光调制器及其制备方法
专利名称英文:
专利类别:
申请号:	2023107666421
专利号:
申请日期:	2023/6/27
第一发明人:	李卓芸
第一发明人英文:
其他发明人:	蔡艳；王书晓；伯扬
其他发明人英文:
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实施情况:
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