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一种用于锗硒及其掺杂合金的化学机械抛光组合物

专利名称:	一种用于锗硒及其掺杂合金的化学机械抛光组合物
专利名称英文:
专利类别:
申请号:	2023100622259
专利号:
申请日期:	2023/1/17
第一发明人:	李程兴
第一发明人英文:
其他发明人:	周夕淋,刘卫丽,宋志棠,崔紫荆
其他发明人英文:
国外申请日期:
国外申请方式:
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专利授权日期:
缴费情况:
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实施情况:
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