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一种MEMS四合一单片集成传感器
专利名称: 一种MEMS四合一单片集成传感器
专利名称英文:
专利类别:
申请号: 202310488581.7
专利号:
申请日期: 2023/5/4
第一发明人: 陶虎
第一发明人英文:
其他发明人: 李晓辉,秦楠
其他发明人英文:
国外申请日期:
国外申请方式:
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专利授权日期:
缴费情况:
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实施情况:
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