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一种MEMS传感器的制作方法

专利名称:	一种MEMS传感器的制作方法
专利名称英文:
专利类别:
申请号:	202310491694.2
专利号:
申请日期:	2023/5/4
第一发明人:	陶虎
第一发明人英文:
其他发明人:	李晓辉,秦楠
其他发明人英文:
国外申请日期:
国外申请方式:
国外申请方式英文:
专利授权日期:
缴费情况:
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实施情况:
实施情况英文:
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专利证书号:
专利摘要:
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国外授权日期:

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