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一种双量程加速度传感器结构及制作方法
专利名称: 一种双量程加速度传感器结构及制作方法
专利名称英文:
专利类别:
申请号: 2023105637369
专利号:
申请日期: 2023/5/18
第一发明人: 王家畴
第一发明人英文:
其他发明人: 郑梦瑶;李昕欣;
其他发明人英文:
国外申请日期:
国外申请方式:
国外申请方式英文:
专利授权日期:
缴费情况:
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实施情况:
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