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氧化镓异质集成结构及制备方法

专利名称:	氧化镓异质集成结构及制备方法
专利名称英文:
专利类别:
申请号:	2023104981195
专利号:
申请日期:	2023/5/4
第一发明人:	欧欣
第一发明人英文:
其他发明人:	瞿振宇；游天桂；徐文慧；赵天成；
其他发明人英文:
国外申请日期:
国外申请方式:
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专利授权日期:
缴费情况:
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实施情况:
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