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SOI衬底、SOI衬底的制备方法及SOI器件
专利名称: SOI衬底、SOI衬底的制备方法及SOI器件
专利名称英文:
专利类别:
申请号: 2023104326786
专利号:
申请日期: 2023/4/20
第一发明人: 刘强
第一发明人英文:
其他发明人: 俞文杰；
其他发明人英文:
国外申请日期:
国外申请方式:
国外申请方式英文:
专利授权日期:
缴费情况:
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实施情况:
实施情况英文:
其他备注:  
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专利摘要:  
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