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一种能够控制铌酸锂波导侧壁倾角的刻蚀方法

专利名称:	一种能够控制铌酸锂波导侧壁倾角的刻蚀方法
专利名称英文:
专利类别:
申请号:	202210926873.X
专利号:
申请日期:	2022/8/3
第一发明人:	欧欣
第一发明人英文:
其他发明人:	朱一帆，张加祥，陈阳，王成立
其他发明人英文:
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国外申请方式:
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缴费情况:
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实施情况:
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