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一种低损耗硅光芯片的端面耦合结构
专利名称: 一种低损耗硅光芯片的端面耦合结构
专利名称英文:
专利类别:
申请号: 2022112450812
专利号:
申请日期: 2022/10/12
第一发明人: 武爱民
第一发明人英文:
其他发明人: 吕东升,冯大增,李昂
其他发明人英文:
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实施情况:
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