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一种应用于光学相控阵的基于交错刻蚀的多层结构波导光栅天线及其制备方法

专利名称:	一种应用于光学相控阵的基于交错刻蚀的多层结构波导光栅天线及其制备方法
专利名称英文:
专利类别:
申请号:	2022106800077
专利号:
申请日期:	2022/6/16
第一发明人:	伯扬
第一发明人英文:
其他发明人:	蔡艳,王金玉
其他发明人英文:
国外申请日期:
国外申请方式:
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实施情况:
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