2025年6月11日 星期三
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一种基于3μm SOI的集成硅基激光器及其制备方法
专利名称: 一种基于3μm SOI的集成硅基激光器及其制备方法
申请号: 2022103246900
申请日期: 2022/3/30
第一发明人: 武爱民
其他发明人: 刘丽,冯大增
其他备注:  
其他备注英文:  
专利摘要: