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一种基于3μm SOI的集成硅基激光器及其制备方法

专利名称:	一种基于3μm SOI的集成硅基激光器及其制备方法
专利名称英文:
专利类别:
申请号:	2022103246900
专利号:
申请日期:	2022/3/30
第一发明人:	武爱民
第一发明人英文:
其他发明人:	刘丽,冯大增
其他发明人英文:
国外申请日期:
国外申请方式:
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专利授权日期:
缴费情况:
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实施情况:
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专利摘要:
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