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一种用于2μm波段的中红外硅基电光调制器

专利名称:	一种用于2μm波段的中红外硅基电光调制器
专利名称英文:
专利类别:
申请号:	2021109201947
专利号:
申请日期:	2021/8/11
第一发明人:	刘雨菲
第一发明人英文:
其他发明人:	孙嘉良,蔡艳,余明斌
其他发明人英文:
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国外申请方式:
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专利授权日期:
缴费情况:
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实施情况:
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专利摘要:
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