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基于异质集成的氧化镓cascade结构及制备方法

专利名称:	基于异质集成的氧化镓cascade结构及制备方法
专利名称英文:
专利类别:
申请号:	202211599584X
专利号:
申请日期:	2022/12/12
第一发明人:	欧欣
第一发明人英文:
其他发明人:	徐文慧；游天桂；沈正皓；瞿振宇；
其他发明人英文:
国外申请日期:
国外申请方式:
国外申请方式英文:
专利授权日期:
缴费情况:
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实施情况:
实施情况英文:
其他备注:
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专利摘要英文:
国外授权日期:

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