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一种锆钛酸铅薄膜湿法刻蚀方法
专利名称: 一种锆钛酸铅薄膜湿法刻蚀方法
专利名称英文:
专利类别:
申请号: 2022111395343
专利号:
申请日期: 2022/9/19
第一发明人: 武震宇
第一发明人英文:
其他发明人: 苏泳全;刘艺晨;王栎皓;
其他发明人英文:
国外申请日期:
国外申请方式:
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专利授权日期:
缴费情况:
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实施情况:
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