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一种大尺寸晶圆中深能级缺陷态的检测方法

专利名称:	一种大尺寸晶圆中深能级缺陷态的检测方法
专利名称英文:
专利类别:
申请号:	2022108019320
专利号:
申请日期:	2022/7/7
第一发明人:	郑理
第一发明人英文:
其他发明人:	王昊；俞文杰；程新红；俞跃辉；
其他发明人英文:
国外申请日期:
国外申请方式:
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专利授权日期:
缴费情况:
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实施情况:
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国外授权日期:

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