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一种低应力氮化铝压电薄膜的生长方法

专利名称:	一种低应力氮化铝压电薄膜的生长方法
专利名称英文:
专利类别:
申请号:	2022107311881
专利号:
申请日期:	2022/6/24
第一发明人:	母志强
第一发明人英文:
其他发明人:	姜文铮；赵佳；李卫民；俞文杰；
其他发明人英文:
国外申请日期:
国外申请方式:
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专利授权日期:
缴费情况:
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实施情况:
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