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一种用于量子阱探测器的宽带微腔阵列耦合结构及其制备方法

专利名称:	一种用于量子阱探测器的宽带微腔阵列耦合结构及其制备方法
专利名称英文:
专利类别:
申请号:	2022105163989
专利号:
申请日期:	2022/5/12
第一发明人:	郑永辉
第一发明人英文:
其他发明人:	张真真；王长；曹俊诚；
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国外申请方式:
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实施情况:
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