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基于电子束曝光的高性能高频声表面波器件的制备方法

专利名称:	基于电子束曝光的高性能高频声表面波器件的制备方法
专利名称英文:
专利类别:
申请号:	2022105072551
专利号:
申请日期:	2022/5/10
第一发明人:	刘晓宇
第一发明人英文:
其他发明人:	江文兵；林志荣；彭炜；
其他发明人英文:
国外申请日期:
国外申请方式:
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专利授权日期:
缴费情况:
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实施情况:
实施情况英文:
其他备注:
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专利摘要:
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国外授权日期:

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