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一种高通量薄膜压电性能综合表征装置及方法

专利名称:	一种高通量薄膜压电性能综合表征装置及方法
专利名称英文:
专利类别:
申请号:	2022103454903
专利号:
申请日期:	2022/3/31
第一发明人:	朱宇波
第一发明人英文:
其他发明人:	母志强；朱雷；李卫民；俞文杰；
其他发明人英文:
国外申请日期:
国外申请方式:
国外申请方式英文:
专利授权日期:
缴费情况:
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实施情况:
实施情况英文:
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国外授权日期:

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