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具有NbN SNS约瑟夫森结的超导集成电路及其制备方法

专利名称:	具有NbN SNS约瑟夫森结的超导集成电路及其制备方法
专利名称英文:
专利类别:
申请号:	202210245976X
专利号:
申请日期:	2022/3/9
第一发明人:	张露
第一发明人英文:
其他发明人:	陈垒；王镇；
其他发明人英文:
国外申请日期:
国外申请方式:
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专利授权日期:
缴费情况:
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实施情况:
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专利证书号:
专利摘要:
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