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基于FIB设备定制AFM探针的方法及原子力显微镜

专利名称:	基于FIB设备定制AFM探针的方法及原子力显微镜
专利名称英文:
专利类别:
申请号:	2021111727147
专利号:
申请日期:	2021/10/8
第一发明人:	董业民
第一发明人英文:
其他发明人:	胡康康；黄亚敏；王刘勇；
其他发明人英文:
国外申请日期:
国外申请方式:
国外申请方式英文:
专利授权日期:
缴费情况:
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实施情况:
实施情况英文:
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国外授权日期:

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