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亚微米堆栈结构约瑟夫森结器件及其制备方法

专利名称:	亚微米堆栈结构约瑟夫森结器件及其制备方法
专利名称英文:
专利类别:
申请号:	2021107499203
专利号:
申请日期:	2021/7/2
第一发明人:	彭炜
第一发明人英文:
其他发明人:	陶元鹤；张露；陈垒；王镇；
其他发明人英文:
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国外申请方式:
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专利授权日期:
缴费情况:
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实施情况:
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