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一种氮化铝/碳化硅复合声波谐振器的制备方法及谐振器

专利名称:	一种氮化铝/碳化硅复合声波谐振器的制备方法及谐振器
专利名称英文:
专利类别:
申请号:	202111249926
专利号:
申请日期:	2021/10/26
第一发明人:	欧欣
第一发明人英文:
其他发明人:	石航宁,张师斌,游天桂,伊艾伦
其他发明人英文:
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专利授权日期:
缴费情况:
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实施情况:
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