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一种集成量子纠缠光源的光量子芯片的制备方法及其结构

专利名称:	一种集成量子纠缠光源的光量子芯片的制备方法及其结构
专利名称英文:
专利类别:
申请号:	202111436608.5
专利号:
申请日期:	2021/11/29
第一发明人:	张加祥
第一发明人英文:
其他发明人:	金婷婷，欧欣，欧炜文，朱一帆
其他发明人英文:
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实施情况:
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