我所是中科院硕士、博士研究生重点培养基地之一，拥有"通信与信息系统"、"微电子学与固体电子学"和"材料物理化学"三个博士学位培养点。随着知识创新工程的深入，我所科研工作体量大幅度增加，研究生的招生规模也不断扩大。在创新二期期间，我所"以系统带动器件，以器件带动材料"的理念及获得的一系列科研成果吸引了大批优秀生源。我所还一直保持与上海宏力半导体有限公司、中芯国际等企业合作培养研究生，这种全新的培养模式让产学研结合得更加紧密，为国家的集成电路产业培养高级专业人才。

    作为中科院的博士生重点培养基地，我所研究生的培养质量不断提高，近年来我所在新的学科方向上打造了一支学术水平高、治学严谨、为人师表、年复力强的导师队伍，目前拥有博士生导师40人、硕士生导师34人。在良好的研究和培养氛围下，我所研究生工作取得了优良的成绩：我所4次获得"全国百篇优秀博士论文"（1999，2006，2008，2009），5次获得"中国科学院优秀博士论文"（2004，2005，2007，2008，2009），8位研究生获得中国科学院院长奖特别奖，33位研究生获得中国科学院院长奖优秀奖，另有60余人次获得中科院冠名奖和上海市奖励。

    微系统所的两个博士后流动站，“材料科学与工程” 和“电子科学与技术”分别设立于1988年4月和1998年4月，截止目前已招收博士后100余名。两个流动站以国家和中科院的重点实验室为依托，承担着多项国家、中科院和地方的重大、重点项目，科研工作水平处于国内前列；指导教师学术造诣高，各实验室科研经费充足，装备先进，有较强的科研实力和较高的学术水平，为博士后研究人员提供良好的工作环境，博士后生活后勤也有很好的保障。