太赫兹半导体器件表征测试----中国科学院上海微系统与信息技术研究所

太赫兹半导体器件表征测试

　　实验室建立了完备的太赫兹光子学/电子学器件表征测试系统。包括光谱仪、低温探针台、太赫兹器件电学测试表征设备(包括锁相放大器，示波器、滤波器、精密LCR仪等)，以及低温测试设备等。建立了国内一流的THz电子学测试系统，在片测试系统频率达到0.1THz。该系统的建立，对探索太赫兹波与半导体相互作用机理，研究太赫兹波段的辐射源、探测器以及毫米波/太赫兹器件应用等具有重要意义，提升了实验室太赫兹波段光子学和电子学器件及应用的研究能力。