1月31日 上海微系统所研制出具有极限操作速度的相变存储器。中科院上海微系统所为第一完成单位和通信单位。以“Toward the Speed Limit of Phase Change Memory”为题发表在Advanced Materials上（10.1002/adma.202208065）。

　　2月3日 上海微系统所在高稳定自参考太赫兹双光梳方面取得重要研究进展。相关成果以“Terahertz Semiconductor Dual-comb Source with Relative Offset Frequency Cancellation”为题发表在Laser & Photonics Reviews期刊。

　　2月11日 中国科学院2023年度工作会议上，上海微系统所宋志棠研究员团队获得2022年度中国科学院杰出科技成就奖。上海微系统所任洁研究员获得2022年度中科院青年科学家奖。

　　3月 上海微系统所相变存储器团队和SQUID地球物理团队荣获全国颠覆性技术创新大赛总决赛最高奖项——优胜奖

　　3月17日上海微系统所宋志棠、朱敏团队的“新原理开关器件为高性能海量存储提供新方案”荣获2022年度中国科学十大进展。

　　5月 上海微系统所“300mm大硅片核心技术攻关青年突击队”荣获2022年度“上海市青年五四奖章（集体）”荣誉。

　　5月24日 上海微系统所成功开发柔性单晶硅太阳电池技术。相关成果以封面文章在《自然》期刊发表（Nature volume 617, pages717–723 (2023)）。

　　5月26日 2022年度上海市科学技术奖励大会上，上海微系统所狄增峰研究员荣获“上海市青年科技杰出贡献奖”；由赵建龙团队完成的“面向城市安全治理的物联网关键技术及应用”项目荣获“上海市技术发明一等奖”，刘正新团队及中国电子科技集团公司第十八研究所合作单位团队完成的“面向高空无人机和平流层飞艇的高效率柔性硅异质结太阳电池关键技术”项目荣获“上海市技术发明一等奖”。

　　7月11日，欧洲应用超导学会（ESAS）正式宣布，将2023年国际应用超导杰出贡献奖（ESAS Award for Excellence）授予中国科学院上海微系统与信息技术研究所尤立星研究员，这是我国超导电子领域科学家首次获得该奖项。

　　9月22日 上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室成功制备了一种基于氮空位（NV）量子色心的微型光电一体化集成钻石量子电流传感器。相关研究成果以“Millimeter-Scale Temperature Self-Calibrated Diamond-Based Quantum Sensor for High-Precision Current Sensing”为题发表在Advanced Quantum Technologies。

　　10月11日 中国科学技术大学潘建伟、陆朝阳等组成的研究团队与上海微系统与信息技术研究所、国家并行计算机工程技术研究中心合作，宣布成功构建255个光子的量子计算原型机“九章三号”。国际知名学术期刊《物理评论快报》发表该成果。

　　10月20日 上海微系统所魏星研究员团队在300 mm SOI晶圆制造技术方面取得突破性进展，制备出了国内第一片300 mm 射频（RF）SOI晶圆。实现了国内300mm SOI制造技术从无到有的重大突破。

　　11月 2023年11月6-10日召开第34届国际光伏科学与工程大会（PVSEC34），上海微系统所刘正新研究员获得滨川奖(Hamakawa Award)，刘文柱副研究员获得青年科学家奖（Young Scientist Award）。

　　11月8日，中国科学院院长、党组书记侯建国在上海微系统所开展调研。中国科学院副院长、党组成员汪克强、丁赤飚等陪同调研。

　　11月10日 上海微系统所陶虎研究员荣获上海市科学技术协会颁发的第十二届上海青年科技英才称号。

　　11月 第37届IEEE MEMS 国际会议在美国奥斯汀召开。上海微系统所本次共入选26篇论文（Oral 7篇），位列世界第一。

　　12月 在第69届国际电子器件大会（IEDM 2023）上，上海微系统所欧欣研究员课题组以口头报告形式发表了题为“Miniaturized Dual-Mode SAW Filters using 6-inch LiNbO3-on-SiC for 5G NR and WiFi 6”的最新研究成果。