喜报!上海微系统所“集成电路用300mm硅片关键技术研发与产业化”团队荣获2023年度中国科学院科技促进发展奖

  

  12月23日,上海微系统所俞跃辉研究员带领的“集成电路用300mm硅片关键技术研发与产业化”团队获得2023年度中国科学院科技促进发展奖。

  “集成电路用300mm硅片关键技术研发与产业化”项目发挥上海微系统所协同创新体系优势,研发300mm硅片关键核心技术,通过研究所发起成立的上海硅产业集团实现规模量产,解决我国先进技术节点300mm硅片的有无难题,累计出货量突破900万片,为我国集成电路产业硅片供应提供有力保障。有效发挥链主引领作用,带动我国集成电路硅片制造产业链上游设备及耗材协同发展。
  中国科学院科技促进发展奖表彰在服务国民经济、社会发展、社会公益等科技创新活动中作出重要贡献的团队。