王曦同志出生于1966年8月，上海人，1993年7月参加工作，中科院上海微系统与信息技术研究所材料物理研究生毕业，博士，研究员，2009年当选为中国科学院院士。中共十八大、十九大代表。

1987年毕业于清华大学工程物理系，1990年、1993年分别获中科院上海冶金所（现上海微系统所）硕士、博士学位。1993年－1994年任上海微系统所助理研究员，其中1993年7月－1994年5月赴澳大利亚访问学者。1994年－2004年历任上海微系统所副研究员、研究室副主任、研究员、室主任、所长助理，其中1996年5月－1998年6月赴德国访问学者。2004年4月起任上海微系统所党委副书记兼副所长。2007年1月起任上海微系统所党委书记兼副所长，国家科技重大专项“极大规模集成电路制造技术及成套工艺”技术副总师，上海新傲科技股份有限公司董事长。2009年3月起任上海微系统所党委书记兼常务副所长，法定代表人。2010年7月起任上海微系统所所长。2010年8月-2015年8月担任第十一届全国青年联合会副主席、科学技术界别工作委员会主任委员。2016年6月当选中国科学技术协会第九届全国委员会副主席。2017年10月当选中国共产党第十九届中央委员会候补委员。2019年5月起任科学技术部副部长。