AZ5214光刻胶是典型的正性可反转光刻胶，具备图形反转特性，在增加反转烘烤和泛曝光两道核心工序后，可实现正胶转负胶的图形制备，最终获得带底切（倒梯形）侧壁的胶层结构。反转工艺主要应用在剥离过程中，底切的形态可以防止材料沉积在光刻胶边缘和侧壁形成连续...
2026-06-08
鳍式场效应晶体管，简单说就是种立体结构的芯片晶体管，最早在英特尔 22 纳米工艺上商用。它把原本平躺的沟道竖起来做成鱼鳍状，让栅极从三面包裹住，控制电流更精准，漏电更少。在14 纳米到 5 纳米工艺里大量使用
2026-06-01
中国科学院第二十二届公众科学日如期举办。中国科学院上海微系统与信息技术研究所（以下简称上海微系统所）联合上海长宁区科委、长宁区科协举办了主题为“科技赋能未来”的公众科学日活动。近300名现场民众和20万线上观众走进上海微系统所，沉浸式探索智能机器人、...
2026-05-20
