之前给大家介绍了球冠状的微透镜阵列常用制作方法—热回流法，但是其也存在一定的问题，首先就是在热回流后形成的球面是受到基底表面润湿性影响的，这与液滴在基底表面的润湿性比较相似，因此在回流的过程中光刻胶在高度和半径方向都会发生变化，回流后的面型很难...
2026-06-22
超声波扫描显微镜是一种利用传播媒介的无损检测设备，利用超声脉冲探测产品内部空隙等缺陷。当超声波与被测物及其中的缺陷相互作用时，反射、透射和散射特性使其传播方向和特征被改变;通过收集反射波和透射波，并对其处理和分析，就可得到被测物的声学图像；通过分...
2026-06-15
AZ5214光刻胶是典型的正性可反转光刻胶，具备图形反转特性，在增加反转烘烤和泛曝光两道核心工序后，可实现正胶转负胶的图形制备，最终获得带底切（倒梯形）侧壁的胶层结构。反转工艺主要应用在剥离过程中，底切的形态可以防止材料沉积在光刻胶边缘和侧壁形成连续...
2026-06-08
鳍式场效应晶体管，简单说就是种立体结构的芯片晶体管，最早在英特尔 22 纳米工艺上商用。它把原本平躺的沟道竖起来做成鱼鳍状，让栅极从三面包裹住，控制电流更精准，漏电更少。在14 纳米到 5 纳米工艺里大量使用
2026-06-01
中国科学院第二十二届公众科学日如期举办。中国科学院上海微系统与信息技术研究所（以下简称上海微系统所）联合上海长宁区科委、长宁区科协举办了主题为“科技赋能未来”的公众科学日活动。近300名现场民众和20万线上观众走进上海微系统所，沉浸式探索智能机器人、...
2026-05-20
