上海微系统所召开国家863重点项目2009年度总结会
11月21日上午,国家863重点项目“相变随机存储器存储材料及关键技术” 2009年度项目进展汇报会在上海微系统所召开。来自上海微系统所、半导体所、上海同济大学、上海交通大学、北京大学及中芯国际共三十余人参加了此次会议,会议由上海微系统所宋志棠研究员主持。
各课题组就三维纳米尺度的相变存储单元及防扩散过渡层的研究;与材料、工艺、芯片设计需求紧密结合的PCRAM模拟研究;多层复合相变材料研究;针对各项单项工艺,包括抛光及刻蚀等不同工艺路线,开展的机理研究,12英寸工艺开发演示等作了详尽的汇报。并对2010年工作规划和安排作了详细讨论。
宋志棠研究员对各课题组的工作给予了肯定,并强调各课题组应加强阶段性总结工作,除早日拿出演示芯片外,还应提高项目文章和专利的发表数量,同时应针对2010年工作做好详细计划,汇总后可在2010年研讨会中讨论施行。
此次会议在掌握各课题组的研究进度,为后续研究工作进行前期部署,为项目的最终目标的实现提供了保障。