MEMS是当今微纳传感器制造的主流技术，该领域规模最大的国际顶级学术会议IEEE MEMS（IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems），每年一届在美洲、欧洲和亚洲轮流举行，至今已举办35届。刚刚在日本东京结束的IEEE MEMS 2022会议中，中国大陆总共发表论文74篇，包括Oral 23篇和poster51篇。上海微系统所以17篇的论文总数（传感技术国重13篇，信息功能材料国重4篇）位列世界第一，占中国大陆录取论文总数的近23%。同时，最难被选取录用的口头报告我所传感技术国重有8篇，占世界总数的10.8%（该会议在600余篇投稿中仅选出数74篇口头报告论文），其中有6篇报告入选“最佳论文提名奖”，最终仅有我所陶虎团队与日本东北大学、香港科技大学入选的三篇报告获得了IEEE MEMS 2022 会议的“最佳论文奖”。此外，大会邀请我所传感技术国重的李昕欣研究员做了题为Cantilever-based sientific instrumentation的大会报告（Plenary presentation）。