MEMS是当今微纳传感器制造的主流技术，该领域规模最大的国际顶级学术会议IEEE MEMS（IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems），每年一届在美洲、欧洲和亚洲轮流举行，至今已举办36届。该会议是微机电系统领域最高级别的国际学术会议，主要报道微纳加工与集成、微纳传感器与执行器、以及微系统等方面的研究新进展。