2024年9月9日，由京津冀国家技术创新中心主办的2024年全国颠覆性技术创新大赛在上海张江科学会堂举办颁奖仪式，上海微系统所于海涛研究员、李昕欣研究员和许鹏程研究员等申报的“超灵敏快速检测芯片式热分析仪”项目荣获此次大赛最高奖——全国颠覆性技术创新大赛卓越奖。

“超灵敏快速检测芯片式热分析仪”项目由中国科学院上海微系统与信息技术研究所与厦门海恩迈科技有限公司联合研发。传统热分析仪器采用庞大的热天平结构，升降温速率慢、测试时间长、样品消耗量大、灵敏度低。本项目通过世界首创的可以片上加热、测温和称重的MEMS集成微传感芯片，替代传统热分析仪器的热天平结构，研发出具有超灵敏快速检测能力的芯片式热分析仪，在核心参数上相比传统仪器有数量级的提升，为材料开发、工艺优化、质量监控等提供有力支撑。该项目先后在Nano Lett.、Anal. Chem.等SCI期刊和国际顶级会议上发表论文117篇，授权发明专利43项，建立国家标准1项。该仪器产品远销国内外，已服务于新加坡国立大学、比利时鲁汶大学、清华大学、上海交通大学等数十所国内外知名高校与研究所，推动其创新成果在国际知名期刊如Nat. Commun.、Angew. Chem. Int. Ed.、Nano Lett.等的发表。