第十五届全国分子束外延学术会议成功召开
10月10日至13日,由中国有色金属学会和中国电子学会主办、中国科学院上海微系统与信息技术研究所集成电路材料全国重点实验室承办的第十五届全国分子束外延学术会议在苏州汾湖成功召开。中国科学院上海技术物理研究所沈学础院士、中国科学院半导体研究所陈良惠院士,中国有色金属学会副理事长兼秘书长高焕芝,中国科学院上海微系统与信息技术研究所所长谢晓明,吴江区委常委、汾湖高新区党工委书记、管委会主任张炳高以及分子束外延技术领域的专家学者、研究生共500余人出席了本次学术会议。大会主席陈意桥研究员主持开幕式。
开幕式上,著名物理学家、中国科学院院士沈学础,中国有色金属学会副理事长兼秘书长高焕芝,中国科学院上海微系统与信息技术研究所所长谢晓明,吴江区委常委、汾湖高新区党工委书记、管委会主任张炳高分别致欢迎辞。
中国科学院物理研究所周均铭研究员、中国科学院半导体研究所刘峰奇研究员、牛智川研究员、中国科学院上海技术物理研究所陈建新研究员、中国电子科技集团公司第四十八研究所王平研究员、复旦大学钟振扬教授、北京大学王新强教授做大会邀请报告。
会议期间,与会专家学者围绕分子束外延生长理论与技术、分子束外延材料生长及器件、基于分子束外延技术的相关外延技术、新材料、新器件研发、分子束外延设备、部件、在线监测仪器等专题开展了深入研讨。
经评委会评选,中国科学技术大学霍永恒教授,松山湖材料实验室韦文奇博士,中国科学院半导体研究所杨成奥博士,北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司获得首届MBE科学奖。