专利
专利名称 申请号 申请日期
一种金属钴抛光液及其应用 2020106186762 2020/6/30
一种超导磁通存储单元及其读写方法 2020104930024 2020/6/3
降低薄膜剥离热应力的异质结构薄膜的制备方法 2020106024062 2020/6/29
一种薄膜体声波谐振器的制备方法 2020106030824 2020/6/29
一种异质衬底薄膜的制备方法 2020106085210 2020/6/29
基于同一衬底制备不同厚度薄膜的方法及其结构、及应用器件 2020106085831 2020/6/29
基于同一衬底制备不同厚度薄膜的方法及其结构、及应用器件 2020106083658 2020/6/29
一种基于内扩散和离子注入的铌酸锂波导制备方法 2020106023708 2020/6/29
一种基于离子注入的铌酸锂或钽酸锂晶圆黑化方法 2020106023799 2020/6/29
一种降低异质结构薄膜退火热应力的方法 2020106026208 2020/6/29
一种多层膜结构衬底上的压电单晶薄膜及其制备方法 2020106030877 2020/6/29
一种提高单晶压电薄膜厚度均匀性的方法 2020106036303 2020/6/29
一种表面均匀性优化的压电单晶薄膜制备方法 2020106038525 2020/6/29
一种基于LNOI光子平台的硅光探测器及其制备方法 2020106044441 2020/6/29
一种临时键合和解键合方法、载片结构及应用 2020106047632 2020/6/29
一种热释电红外探测器的制备方法及热释电红外探测器 2020106038351 2020/6/29
一种非地面网络的定时提前调整方法 202010581070.6 2020/6/23
一种柔性器件及其制备方法 2020105791283 2020/6/23
一种浮空的柔性器件及其制备方法 2020105791387 2020/6/23
一种近常压电子产额模式X射线吸收谱装置及采集方法 2020105791404 2020/6/23