刘卫丽  研究员, 博士生导师。2002年在中科院上海微系统与信息技术研究所获博士学位后留所工作，主要研究方向为纳米材料、半导体材料和器件、化学机械抛光技术等。在硅基半导体材料，纳米材料制备和表面改性技术，以及化学机械抛光材料和工艺方面具有丰富的经验，研发出的高纯二氧化硅纳米材料和抛光液广泛应用在IC、LED和手机行业。先后在国内外刊物发表论文一百多篇，申请发明专利98余项，其中授权71项。主持了国家重大专项项目、国家863项目、国家自然科学基金和上海市重点攻关等多个项目。先后获得中国材料研究学会科技奖一等奖(2019年)、上海市技术发明二等奖（2019年）、上海市技术发明一等奖（2016年）、国家科技进步一等奖（2007年）、中科院杰出科技成就奖（2007年）、上海市科技进步一等奖（2004年）、中国科协求是杰出青年成果转化奖和上海市优秀技术带头人等奖项和荣誉。目前兼任ICPT国际会议程序委员会委员、微纳制造摩擦学专业委员会常务委员、上海市真空协会真空电子与显示专业委员会副主任、全国纳米标准化委员会微纳加工工作组副秘书长、上海市稀土协会标准化技术委员会委员。