薛忠营，中国科学院上海微系统与信息技术研究所研究员，博士生导师。在中国科学院大学取得博士学位，于2011年7月加入中国科学院上海微系统与信息技术研究所。
薛忠营长期从事高端硅基材料领域研究工作，主要研究方向为：大尺寸硅片、SOI片、石墨烯制备工艺及机理研究等。主持/承担了国国家重点研发计划、自然科学基金面上项目、中国科学院B类先导专项项目等多项重大科研项目，取得多项国际领先成果，在300mm硅片大规模量产中得到了实际应用。在Nature Electronics、Small、Nano letters等期刊上发表了SCI论文70余篇，申请专利60余件。
招聘/招生研究方向：
晶体缺陷形成机理及缺陷表征技术；超平坦硅片制造技术；SOI材料界面缺陷形成机理及调控技术。
