| 专利名称 | 申请号 | 申请日期 |
|---|---|---|
| 悬臂梁－质量块结构的吸合时间式数字加速度传感器 | 200510030947.8 | 2005-11-1 |
| 微机械加速度计器件的圆片级封装工艺 | 200510030805.1 | 2005-10-27 |
| 一种有产吸氢量高的钛-钒基储氢合金 | 200510031075.7 | 2005-10-24 |
| 一种纳米硫系化合物相变存储器的制备方法 | 200510030637.6 | 2005-10-19 |
| 一种微波芯片测试装置 | 200520045600.6 | 2005-10-12 |
| 微流体芯片电泳分离检测同工酶活性的方法 | 200510023584.5 | 2005-1-26 |
| 硫系化合物相变材料化学机械抛光的纳米抛光液及其应用 | 200410066674.8 | 2004-9-24 |
| 用掩膜和无掩膜技术一次成型原子力显微镜探针和悬臂梁 | 200410066491.6 | 2004-9-17 |
| 一种经锆、铁、钒同时改性的钛锰系储氢合金 | 200410066299.7 | 2004-9-10 |
| 可逆相变材料电性能的表征方法 | 200410053567.1 | 2004-8-6 |
| 一种纳米相变存储器器件单元的制备方法 | 200410053564.8 | 2004-8-6 |
| 一种微机电系统扭转镜面驱动器、制作方法及应用 | 200410053563.3 | 2004-8-6 |
| 一种钠电子相变存储器的制备方法 | 200410053565.2 | 2004-8-6 |
| 一种生物微喷阵列点样装置及其制作方法 | 200410054083.9 | 2004-8-27 |
| 采用硅支撑梁的红外热电堆探测器阵列结构及制作方法 | 200410053913.6 | 2004-8-20 |
| 一种相变微、钠电子存储器器件及制作方法 | 200410053752.0 | 2004-8-13 |
| 磷化铟和砷化镓材料的直接键合方法 | 200410052711.x | 2004-7-9 |
| 氢化物气相外延生长氮化镓膜中的低温插入层及制备方法 | 200410053351.5 | 2004-7-30 |
| 改进氢化物气相外延生长氮化镓结晶膜表面质量的方法 | 200410053350.0 | 2004-7-30 |
| 一种基于（100）晶面硅锭制作的红外闪耀光栅结构及方法 | 200410025197.0 | 2004-6-16 |
