| 专利名称 | 申请号 | 申请日期 |
|---|---|---|
| 一种无损检测磷化铟与砷化镓基材料直接键合质量的方法 | 200410067985.6 | 2004-11-10 |
| 三维互补金属氧化物半导体晶体管结构及其制备方法 | 200410067218.5 | 2004-10-15 |
| 一种双栅金属氧化物半导体晶体管的结构及其制备方法 | 200410067219.x | 2004-10-15 |
| 一种反射式阵列波导调制型光开关 | 200410015742.8 | 2004-1-9 |
| 一种芯片原位聚合酶链反应检测目标基因的方法 | 200410016012.x | 2004-1-19 |
| 一种微型扭转式单刀双置射频开关结构及制作方法 | 03151462.6 | 2003-9-29 |
| 一种制造源漏在自对准绝缘体上的纳米晶体管器件的方法 | 03151252.6 | 2003-9-26 |
| 用于半导体激光器后腔面的高反射率膜系及其镀膜用具夹 | 03151154.6 | 2003-9-24 |
| 一种含镁锌氧的金属－绝缘层－半导体结构及制备工艺 | 03151098.1 | 2003-9-19 |
| 一种用毛细管法气密封装微机电系统器件的方法 | 03142072.9 | 2003-8-6 |
| 一种微机电芯片的密封腔体制作方法 | 03141997.6 | 2003-8-1 |
| 一种硅纳米线的制作方法 | 03141848.1 | 2003-7-25 |
| 高储氢量的钛－钒基储氢合金 | 03141849.x | 2003-7-25 |
| 一种微型角速度传感器及其制作方法 | 03141712.4 | 2003-7-18 |
| 微机械传感器气密封装用等温凝固方法 | 03129302.6 | 2003-6-13 |
| 经钒、铁改性的钛铬系储氢合金 | 03129301.8 | 2003-6-13 |
| 鳞状碳纳米管、制备方法和专用装置 | 03129171.6 | 2003-6-11 |
| 基于硅微机械技术的N×N光开关 | 03128991.6 | 2003-5-30 |
| 带有微型连接构件的基板及其制作方法 | 03128997.5 | 2003-5-30 |
| 压电驱动法布里－珀罗腔可调光学滤波器件及制作方法 | 03128875.8 | 2003-5-26 |
