专利
专利名称 申请号 申请日期
一种用于气相沉积的水平式反应器结构 200310108793.0 2003-11-21
一种镍-氢电池的负极材料及其制备方法 200310108351.6 2003-10-31
一种改善储氢合金活化性能的方法 200310108074.9 2003-10-21
含助催化元素的铂/碳电催化剂及制备方法 02137244.6 2002-9-28
一种量程可达200万M/S2的微机械加速度传感器 02266744.X 2002-8-30
一种高固有频率的量程可达200万M/S2的微机械加速度传感器 02136742.6 2002-8-30
一种用于半导体激光器墙面反射涂层的结构 02136624.1 2002-8-23
一种用于光调制热成像系统的芯片及制作方法 02136625.X 2002-8-23
一种微小直径的新型光耦合装置 02266374.6 2002-8-16
全固态集成小型毫米波防撞雷达装置 02136542.3 2002-8-16
智能交通中车流量监控的雷达射频装置及测定方法 02136541.5 2002-8-16
异质外延生长的氮化镓晶体的位错密度测定方法 02112412.4 2002-7-5
一种底部三面保护的硅尖制作方法 02136132.0 2002-7-19
射频等离子体分子束外延生长氮化镓的双缓冲层工艺 02112311.X 2002-6-28
一种采用双压电晶片驱动器制作的二维光开关矩阵 02112181.8 2002-6-21
锂离子电池负极用高比容量的硅碳复合材料及制备方法 02112180.X 2002-6-21
栅控脉冲行波管栅极网涂覆鉿膜的制备工艺 02118935.8 2002-4-30
镁合金表面复合陶瓷质膜和生成方法 02111521.4 2002-4-27
一种扭转梁大位移的微机械光开关 02216985.7 2002-4-22
电化学电源正极用单质硫/导电聚合物复合材料及方法 02111403.X 2002-4-17