| 专利名称 | 申请号 | 申请日期 |
|---|---|---|
| 二次电化学电源正极用纳米单质硫复合材料及其制备方法 | 02111404.8 | 2002-4-12 |
| 湿法腐蚀制造微机械电容式加速度传感器及其结构 | 02111345.9 | 2002-4-12 |
| 经改性的钛锰系储氢合金 | 02111213.4 | 2002-3-29 |
| 深沟侧壁扩散和电绝缘薄膜填充制造压阻加速度传感器 | 02111212.6 | 2002-3-29 |
| 球磨法制备锂离子电池负极材料用锂金属氮化物 | 02111059.X | 2002-3-15 |
| 一种微小芯片倒扣工艺技术 | 02110878.1 | 2002-2-22 |
| 一种工业用毫米波避碰雷达系统 | 02110879.X | 2002-2-22 |
| 一种硅微加速度传感器及制作方法 | 02151296.5 | 2002-12-13 |
| 一种用于半导体激光器腔面蒸镀的非接触固定方式的夹具 | 02151295.7 | 2002-12-13 |
| 转动竖直镜面微机械光开关及其制造方法 | 02145147.8 | 2002-11-8 |
| 具有高谐波抑制的内置式手机双频贴片天线 | 02145452.3 | 2002-11-15 |
| 由静电驱动大位移的微结构 | 02137780.4 | 2002-11-1 |
| 氢化球磨法制备纳米金属材料 | 02137646.8 | 2002-10-25 |
| 一种纳米材料中间体的制备方法 | 02137644.1 | 2002-10-25 |
| 一种微通道电泳芯片检测仪 | 02215218.0 | 2002-1-18 |
| 曲面贴合过载保护的硅微加速度传感器及制造方法 | 01126836.0 | 2001-9-21 |
| 电化学电源用有机硫化物正极材料及其制备方法 | 01126835.2 | 2001-9-21 |
| 一种薄膜电池用的有机硫化物正极及其制备方法 | 01126834.4 | 2001-9-21 |
| 斜拉悬梁支撑膜结构的微机械热电堆红外探测器阵列 | 01126401.2 | 2001-8-3 |
| 一种多层结构绝缘层上镓化硅材料及制备方法 | 01126543.4 | 2001-8-24 |
