| 专利名称 | 申请号 | 申请日期 |
|---|---|---|
| 一种基因芯片的膜转印检测法 | 01113297.3 | 2001-7-6 |
| 以氧化铝为埋层的绝缘层上硅结构的衬底材料及制备方法 | 01126315.6 | 2001-7-20 |
| 在绝缘层硅材料上制作多模干涉型光耦合器的方法 | 01113449.6 | 2001-6-15 |
| 有机发光器件的保护膜及它的封装方法 | 01121100.8 | 2001-6-14 |
| 制备锑化镓基半导体器件用的化学腐蚀液体系 | 01112872.0 | 2001-5-11 |
| 一种镜面全反射型弯曲波导器件结构及制作方法 | 01105879.X | 2001-4-6 |
| 一种量程可达20万m/s2的微机械加速度传感器 | 01238754.1 | 2001-4-6 |
| 结核分支杆菌耐药性检测芯片及其制作方法和应用方法 | 01105981.8 | 2001-4-13 |
| 一种多用途小型化非接触式智能IC卡 | 01210956.8 | 2001-3-2 |
| 一种自动掉电保护的弯曲梁微机械光开关 | 01211156.2 | 2001-3-16 |
| 一种具有阶梯结构底电极的静电扭转微镜及其制作方法 | 01139287.8 | 2001-12-29 |
| 念珠菌基因检测芯片及其制作方法和使用方法 | 01132378.7 | 2001-11-30 |
| 一种提高碳纳米管薄膜的场致电子发射性能的方法 | 01132287.X | 2001-11-23 |
| 一种高容量电化学电容器的制造方法 | 01132080.X | 2001-10-31 |
| 结构自对准制作微机械热堆红外探测器的红外吸收层方法 | 01131975.5 | 2001-10-22 |
| 一种高分辨率单碱基突变检测的杂交方法及其应用 | 01105267.8 | 2001-1-21 |
| 一种利用（100）硅片制作的微机械光开关 | 00249365.9 | 2000-9-22 |
| 深反应离子刻蚀技术中可动结构的牺牲层保护方法 | 00119595.6 | 2000-8-11 |
| 玻璃衬底上可动硅微机械结构集成化的制作方法 | 00119498.4 | 2000-7-21 |
| 电化学超电容及其制造方法 | 00119499.2 | 2000-7-21 |
